Kursplan för Mikrosystemteknik

Helst bör deltagare ha en kandidatexamen eller motsvarande inom elektroteknik, teknisk fysik eller maskinteknik. Examinator för kursen kan göra undantag i särskilda fall.

Kursens syfte är att tillhandahålla möjlighet för deltagarna att förvärva 
allmänna kunskaper och djupare förståelse för moderna kiselbaserade mikrosensorer,
mikroaktuatorer och mikrosystem.

• förklara när och varför moderna kiselbaserade mikrosystem är användbara; Examination: skriftlig tentamen
• beskriva de grundläggande principerna för kiselbaserade mikrosystem; Examination: skriftlig tentamen
• rita enkla mask-layouter och skissa processplaner för tillverkning (i renrum) av mikrostrukturer och avgöra hur de resulterande strukturerna bör se ut; Examination: skriftlig tentamen
• beskriva funktionen hos ett brett spektrum av mikrokomponenter; Examination: skriftlig tentamen
• ta hänsyn till och utvärdera effekterna av miniatyrisering för mikrosystemkomponenters funktionalitet; Examination: skriftlig tentamen
• diskutera överväganden vid förslag till mikrokomponenters design och tillverkning; Examination: projektmöten, skriftlig tentamen
• kritiskt granska resultat från elektriska mätningar på mikrostrukturer; Examination: skriftlig tentamen
• presentera projektresultat på ett vetenskapligt sätt i skriftlig och muntlig form; Examination: projektrapport och presentation

Tekniker för mikrosystemtillverkning
Genomgång av principer för design och tillverkning av mikrostrukturer
Mätteknik
Komponentexempel - tillhandahålls även av gästföreläsare från näringslivet och genom företagsbesök hos producenter av mikromekaniska sensorer
Projektarbete där design, tillverkning och utvärdering av en mikromekanisk sensor demonstreras

En föreläsningsserie ges under kursens gång.

Gästföreläsare från industrin beskriver kommersialiserade mikromekaniska sensorer och ger insikt i hur mikrosystem kan kommersialiseras.

Tillverkningsdemonstrationer i vårt renrum, COMSOL-övning, en karakteriseringövning i mätlabbet och besök på ett lokalt företag är obligatoriska moment.

En stor del av studierna är i form ett projektarbete om konceptualisering, utformning och (planerad) tillverkning av en mikrosystemkomponent. En litteraturstudie och projektpresentation (skriftlig och muntlig) ingår också i projektarbetet.

Rekommendationer
Introductory MEMS, Fabrication and Applications, T. M. Adams, R. A. Layton, Springer, ISBN 978-0-387-09510-3

Microsensors MEMS and Smart devices, Julien W. Gardner, Vijay K. Varadan and Osama O Awadelkarim, John Wiley & Sons, ISBN 0-471-86109-X.

Micromachined Transducers Sourcesbook, Gregory T.A. Kovacs, WCB/McGraw-Hill, ISBN 0-07-290722-3

Kursen består av två delar i form av en föreläsningsserie och ett projektarbete som utförts av grupper på upp till 3 studenter. Slutbetyget för varje elev bestäms utifrån resultaten av en obligatorisk skriftlig tentamen, en skriftlig rapport och muntlig presentation av projektarbetet.

För godkänt måste man ha deltagit i demonstration av tillverkning i renrum, simulering med COMSOL, karakterisering i mätlabb samt studiebesök på företag.